砷化镓半导体芯片产业废水处理技术

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  • 技术简介
砷化镓半导体芯片由于优越的特性,已成为光电子和微电子工业最重要的支撑材料之一。其生产过程工种繁多,故会产生多种水质差异较大的废水,一般包括研磨废水、高浓度有机废水、高低浓度含砷废水、含氟废水、高氨氮废水、酸碱废水等。
四川亚冠下注环境技术有限责任公司根据砷化镓废水特点,经过长期研究形成了以预处理、蒸氨、高级氧化、生化、梯级膜浓缩、MVR蒸发为主的“六单元N系统”砷化镓废水处理成套技术和关键设备,可使含砷废水“近零排放”。该技术和设备已成功用于多家芯片生产企业废水,积累了宝贵的设计及运行经验。目前公司已成为该行业环保领军企业。
  • 技术优势
(1)根据废水特点进行分类收集,分质预处理,减少投资和运行成本;
(2)通过多种工艺组合实现含砷废水“近零排放”;
(3)针对低浓度含砷废水研发的“含砷废水原位处理系统”可使含砷废水达到地表III排放要求;
(4)组合工艺所选的处理单元具有实际设计及运行经验。
  • 应用实例

预处理单元

蒸氨单元

高级氧化单元

膜单元

生化单元

MVR单元
  • 原位除砷系统

中试装置

实验现场